硅舟

采用高純多晶、單晶硅為材料制造的硅舟、硅源管作為半導體器件生產(chǎn)制造過程硅片擴散的載體，相對于石英舟、石英管作為硅片擴散的載體具有雜質(zhì)含量少、耐高溫、不易變形等優(yōu)勢；相對于碳化硅舟、碳化硅管作為硅片擴散的載體又具有價格優(yōu)勢。公司硅舟、硅源管制造工藝先進、加工能力強，可根據(jù)客戶的需要設(shè)計、制造和生產(chǎn)，產(chǎn)品質(zhì)量可靠。

規(guī)格：

產(chǎn)品類型	導電類型	規(guī)格（mm）
高純單晶硅舟	N&P	76.2 – 150
高純單晶硅源管	N&P	76.2 – 200
高純多晶硅舟		76.2 – 150
高純多晶硅源管		76.2 - 200